TY  - THES
AB  - Im Mittelpunkt dieser Arbeit stehen die Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen. Dazu wurden diese Materialien für die verwendete Elektronenstrahlverdampfung evaluiert und charakterisiert. Für die Überwachung des Aufdampfprozesses standen zwei separate In-situ Schichtdickenkontrollen zur Verfügung. Für periodische Multischichtsysteme wurde die für Mo/Si-Multischichten genutzte Röntgenreflektometrie übernommen. Aufgrund des Wechsels von Mo/Si auf La/B4C musste materialbedingt die Steuerung des Verdampfungsprozesses weiterentwickelt und optimiert werden. Für die Herstellung aperiodischer La/B4C-Multischichtsysteme wurde zusätzlich ein In-situ Ellipsometer in Betrieb genommen. Des Weiteren soll eine Senkung der Grenzflächenrauigkeiten und damit einhergehende Erhöhung der Reflektivitäten von La/B4C-Multischichten durch das Polieren mit beschleunigten Ionen der einzelnen Schichten während der Herstellung untersucht werden. Die hergestellten Multischichten werden hinsichtlich Rauigkeiten, Reflektivitäten und spektraler Bandbreite charakterisiert und ausgewertet.
DA  - 2009
KW  - Mehrschichtsystem
KW  - Lanthan
KW  - Borcarbid
KW  - Röntgenspiegel
KW  - Extremes Ultraviolett
LA  - ger
PY  - 2009
TI  - Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen als Röntgenspiegel im Energiebereich 100 - 200 eV
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:361-14765
Y2  - 2024-11-22T06:13:02
ER  -