TY  - THES
AB  - Die vorliegende Dissertation beschäftigt sich mit der Synthese von Hydridogermanen und -silanen sowie mit Studien zur Abscheidung nanodimensionierter Materialien im MOCVD-Prozess. Kapitel 1 beschreibt die optimierte Synthese von Germanen des Typs Cp*GeH3 und untersucht die Stabilität dieser Verbindungen. Mit Hilfe von Untersuchungen an einem Cold-Wall-MOCVD-Reaktor mit In-Situ-Massenspektrometrie wird das Fragmentierungsverhalten aufgeklärt. Durch entsprechende Ex-Situ-Analytik werden die deponierten Germaniumschichten auf ihre Zusammensetzung und Morphologie hin analysiert. In Kapitel 2 werden Experimente zur Darstellung nanodimensionierter Germanium- und Siliciumpartikel in mesoporösem MCM-41 vorgestellt. Die Untersuchung der erhaltenen Materialien zeigt, dass bei den dargestellten Partikeln Größenquantisierungseffekte auftreten. Kapitel 3 beschäftigt sich mit der Thermolyse von Disiloxan sowie der Untersuchung der erhaltenen Pyrolysate. Im weiteren Verlauf werden Versuche zur Darstellung eines Cp*-substituierten Disiloxans beschrieben.
DA  - 2002
KW  - Germane , Cyclopentadienylgruppe , CVD-Verfahren , Germanium , Nanopartikel , Zeolith M41S , Mesoporöser Kristall , Wirtsmolekül , Vakuumbeschichten , Germanium , Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) , Silicium , Nanopartikel , Chemical Vapor Deposition (CVD)
LA  - ger
PY  - 2002
TI  - Hydridogermane und -silane : Synthese und Studien zur Abscheidung nanodimensionierter Materialien
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:361-2139
Y2  - 2024-11-22T04:26:02
ER  -