TY  - THES
AB  - Im Rahmen dieser Arbeit wurden Struktur und Eigenschaften von Mo/Si-Multischichten untersucht, die mittels Puls-Laser-Deposition (PLD) und Magnetron-Sputter-Deposition (MSD) synthetisiert wurden. Ausgehend vom zweikomponentigen Grundsystem, bestehend aus Molybdän-, Silizium- und Übergangsschichten, erfolgte eine Weiterentwicklung dieses Grundsystems, indem dünnste Barriereschichten zwischen die eigentlichen Mo- und Si-Lagen eingefügt wurden, die effektiv Interdiffusion und chemische Reaktionen der beiden Hauptkomponenten verringern können. Die damit verbundenen strukturellen Veränderungen innerhalb der Multischichten wurden mittels verschiedener Dünnschichtcharakterisierungsverfahren (Röntgenreflektometrie, EUV-Reflektometrie, Röntgendiffraktometrie, Transmissionselektronenmikroskopie = TEM) analysiert und die Auswirkungen auf die röntgenoptischen Eigenschaften werden beschrieben.
DA  - 2004
KW  - Molybdän , Silicium , Mehrschichtsystem , Röntgenspiegel , Mikrostruktur , Grenzfläche , Magnetronsputtern , Impulslaserbeschichten , PLD , MSD , Diffusionsbarriere , Röntgen , Spiegel , Extremes Ultraviolett , Reflexion , X-ray , EUV , Multilayer , Mirror , Mo/Si
LA  - ger
PY  - 2004
TI  - Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition : Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:361-5189
Y2  - 2024-11-21T22:32:35
ER  -