TY - THES DA - 2016 LA - ger PY - 2016 TI - Femtosekundenlaser induzierte Modifikation in hydrogenisierten amorphen Silizium-Dünnschichten UR - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:361-29021918 Y2 - 2025-04-27T17:29:43 ER -