TY  - THES
DA  - 2016
LA  - ger
PY  - 2016
TI  - Femtosekundenlaser induzierte Modifikation in hydrogenisierten amorphen Silizium-Dünnschichten
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:361-29021918
Y2  - 2024-11-24T17:09:33
ER  -