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Popp, Jens: Ein Konzept für die Datenhaltung in der fertigungsnahen Mikrosystemtechnik. 2005
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Inhaltsverzeichnis
Einleitung
Mikrosystemtechnik
Materialien
Fertigungsprozesse
Prozesse aus der siliziumbasierten Mikrosystemtechnik
LIGA
Weitere Verfahren
Fazit
Frühere und aktuelle Ansätze
Universitäre Forschung
SIMPL(er)
MISTIC
LIDO
Transtec und Interlido
Sonstige Forschungsprojekte
Industriell angewandte Systeme
IP Management
Open Access
Silvaco
Coventor
PROMIS
Geometriedaten
Maskendaten
3D Daten
STEP
Fazit
Der Entwurfsprozess in der Mikrosystemtechnik
Vorgehen beim Entwurf
Entwurfsmodelle
Das Y-Modell
Das Kreismodell
Allgemeines Entwurfsmodell
Entwurfsaufgaben
Generierung von Prozessfolgen
Konsistenzcheck
Optimierung
Simulation von Prozessfolgen
Fazit
Datenbanken
Was ist eine Datenbank?
Verwaltung von Daten in Dateien
Aufbau und Aufgaben eines Datenbanksystems
Relationale DBMS
Objektorientierte DBMS
Modellierung
Fazit
Datenhaltung in der Mikrosystemtechnik
Objektorientierung in der Datenhaltung
Vererbung
Anpassung der Datenstrukturen
Daten für alle Objekte
Nutzerverwaltung
Dokumente
Parameter und Einheiten
Materialien
Prozessschritte
Maschinen
Wafer
Prozesssequenzen
Wechselwirkungen
Geometriedaten
Schichten
Komponenten
Das Gesamtschema
Partitionierung
Fazit
Architekturentscheidungen
Anforderungen an die Softwarearchitektur
Plattformunabhängigkeit
Multi-Tier-Architektur
CORBA
J2EE
Client-Software
Editoren
Verteilung der Software
Interfaces
Native Schnittstellen
XML
Gewählte Architektur
Fazit
PRINCE
Server Beans
Der Prozessschritteditor
Nutzerverwaltung
Parameterverwaltung
Materialverwaltung
Effektverwaltung
Prozessfluss Editor
Konsistenzcheck
Simulator
Nutzungsszenarien
Resümee und Ausblick
Literaturverzeichnis