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Wagener, Andreas: Fertigungsnahe Entwurfsunterstützung für die Mikrosystemtechnik. 2005
Inhalt
Inhaltsverzeichnis
Einleitung
Mikrosystemtechnik
Fertigung
Siliziumtechnik
Abscheiden und Aufbauen
Verändern
Entfernen
LIGA
Maskenerstellung
Lithografie
Galvanoformung
Abformung
Entwurfsmethoden
Abstraktion und Partitionierung
Entwurfsstile
Mikroelektronik
Digitale Mikroelektronik
Analoge und Mixed-Signal Mikroelektronik
Mechanik
Fazit
Mikrosystementwurf
Klassifizierung von Mikrosystemen
Entwurfsebenen
Adaption von Entwurfsmodellen?
Das Brezel-Modell
Verhaltensnaher Entwurf
CoventorWare
Fertigungsnaher Entwurf
Praxisanalyse
Das erweiterte Kreismodell
Silvaco
MISTIC
LIDO
Fazit
Entwurfsunterstützung
Charakteristische Querschnitt
Simulation
Hierarchisierung von Modellen
Synthese
Konsistenzprüfung
Optimierung
Ergebnisausgabe
Zentrale Datenhaltung
Fazit
Datenmanagement
Klassifizierung und Vererbung
Klassifizierung
Abstraktion
Vererbung
Prozessschritte
Parameter
Bedingungen
Materialien
Effekte
Informationsgewinnung
Nutzergruppen
Service-Prozessierer
Einzelprozessentwickler
Prozessfolgenentwickler
Das elektronische Laborbuch
Datenhaltung
Suchen und Auswerten
Zugriff
Fazit
System-Architektur
Client-Server-System
Benutzerschnittstelle
Fazit
PRINCE Entwicklungsumgebung
Architektur
Umsetzung Entwurfsmethodik
Datenmanagement
Prozessfluss Editor
Konsistenz-Checker
Simulation
Layer Editor
Vorgehensbeschreibung
Fazit
Ausblick
Literaturverzeichnis