TY  - THES
AB  - Der Entwurf von Mikrosystemen, hier speziell der von siliziumbasierten nichtelektronischen
Systemen, zeichnet sich dadurch aus, dass alle Phasen des Entwurfs durch die angestrebte
Fertigungsanweisung beeinflusst werden. Erschwerend kommt hinzu, dass, im Gegensatz zur
Mikroelektronik, beinahe jedes Mikrosystem eine eigene Fertigungsanweisung benötigt. Eine
Abstraktion auf Basis von Masken und Entwurfsregeln ist nicht möglich. Aus diesem Grund
beschränken sich die meisten Softwarewerkzeuge für die Mikrosystemtechnik auf die sehr
frühen Phasen des Entwurfs und Einzelprozesssimulationen.
Unter Berücksichtigung der Methoden in der Mikroelektronik und der Mechanik wird in
dieser Arbeit eine Methodik vorgestellt, die als Basis für eine durchgängige
Entwurfsunterstützung speziell im technologienahen Bereich dienen kann. Basierend auf eben
dieser Methodik und neuen Konzepten der Datenhaltung wird eine Entwicklungsumgebung
vorgestellt, die es ermöglicht, Prozessinformationen einheitlich abzulegen, zu verwalten und
wieder zur Verfügung zu stellen. Die Entwicklungsumgebung gibt weiterhin die Möglichkeit
auf Basis der abgelegten Prozessinformationen, Fertigungsanweisungen zu erstellen und
automatisch auf Fertigbarkeit zu prüfen. Die Simulation der Fertigungsfolge wird durch eine
hierarchische Anordnung der Simulationsmodelle unterstützt bzw. erst möglich gemacht.
Abschließend werden mögliche Erweiterungen diskutiert.
AU  - Wagener, Andreas
DA  - 2005
KW  - Prozessverwaltung
KW  - Verifikation
KW  - Simulation
LA  - ger
PY  - 2005
TI  - Fertigungsnahe Entwurfsunterstützung für die Mikrosystemtechnik
TT  - Technology driven design support for microsystem technology
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:467-994
Y2  - 2024-12-26T22:08:13
ER  -