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Heile, Andreas ; Heile, Andreas Ernst: Vergleich und Kombination unterschiedlicher Methoden zur Erhöhung der Sekundärionen-Ausbeute von Molekülschichten bei der Sekundärionenmassenspektrome [...]. 2011
Inhalt
Inhaltsverzeichnis
Einleitung
Theorie
Grundlagen der Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometrie
Zerstäubungsprozesse
Stoßkaskadenmodell nach Sigmund
Erweiterung des Stoßkaskadenmodells nach Matsunami
Erweiterung des Stoßkaskadenmodells durch das Thermal spike-Modell
Modelle für molekulare Proben
Diskussion der quantitativen Beschreibung
Bremsvermögen und Zerstäubungsausbeuten
Eindringtiefe
Informationstiefe
Zusammenfassung der Schlussfolgerungen und weiterführende Anmerkungen
Ionisierungsprozesse
Methoden zur Steigerung der Sekundärionenausbeute
Monoatomare Primärionen
Einfluss der Primärionenmasse
Einfluss der Primärionen-Energie
Polyatomare Primärionen
Einfluss der Konstituentenanzahl
Einfluss der Primärionen-Energie
Einfluss der Sekundärionenmasse
Veränderungen der Probe
Monolagenpräparation
MetA-SIMS
Weitere Methoden
Flugzeitprinzip
Experimentelles
Aufbau der Messapparaturen
Spezifizierung der Ziele der Dissertation
Probenpräparation
Auswertung und Diskussion
Allgemeine Bemerkungen zur Durchführung der Messungen und zur Datenauswertung
Durchführung der Messungen
Anmerkungen zur Datenauswertung und Festlegung der relevanten Signale
Anmerkungen zur Interpretation der Variation der Sekundärionenausbeuten
Ausbeuteänderungen bei Variation der Beschussparameter
Variation der Masse monoatomarer Primärionen
Variation der Energie monoatomarer Primärionen
Variation der Anzahl der Primärionen-Konstituenten
Variation der Energie polyatomarer Primärionen
Messreihenübergreifende Analyse
Beschreibung der Ergebnisse
Diskussion der relativen Änderungen der k-Werte
Diskussion der Absolutwerte von k
Zusammenfassung und Ausblick
Summary
Literaturverzeichnis
Abbildungsverzeichnis
Tabellenverzeichnis
Definitionen und Abkürzungen
Danksagung