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Zusammenfassung
  • In der Halbleiterindustrie ist eine unbelastete Umgebungsluft Voraussetzung für eine effiziente und störungsfreie Produktion. Von besonderem Interesse ist die Überwachung der Qualität der gefilterten Zuluft in den Reinräumen im Hinblick auf ihre Belastung mit kondensierbaren Kohlenwasserstoffen. Das im Rahmen dieser Arbeit entwickelte Messsystem Air Check ermöglicht mit einem neuartigen Messverfahren die selelktive Überwachung von Spurenkonzentrationen dieser schwerflüchtigen Sunbstanzen mit Gassensoren durch zeitaufgelöste Thermodesorption. das Messverfahren gliedert sich in einen adsorptiven Probenanreicherungsprozess, die Desortption der angereicherten Probe und die Messung der angereicherten Substanzen mit einem Array von Gassensoren. Die verfahrensparameter Trägergasgeschwindigkeit und Aufheizgeschwindigkeit während der Thermodesroption sowie Adsorbensmenge wurden hinsichtlich ihres Einfluss auf Empfindlichkeit und Selektivität des Messverfahrens systematisch untersucht. Das Verfahren ist unempfindlich gegen den Einfluss der Luftfeuchtigkeit und ermöglicht bei geeigneter Wahl der verfahrensparameter die Überwachung der kondensierbaren Kohlenwasserstoffe und ist dabei selbst in Konzentrationen bis hinab zu wenigen Parts per Billion (ppb) möglich.
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