TY  - THES
A3  - Kohl, Helmut
AB  - Wir konnten in dieser Arbeit zeigen, dass mit Elementverteilungsbildern des Transmissionselektronenmikroskops (TEM) Fe/Cr-Schichtsysteme bis auf wenige Ångström genau untersucht werden können. Um diese Genauigkeit mit dem TEM zu erreichen, wurde von uns eine Aufnahmeprozedur entwickelt, die statt langzeitig belichteten Bildern eine Anzahl von kurzzeitig belichteten Bildern aufnimmt und diese räumlich driftkorrigiert aufsummiert. Durch diese Reduktion des Drifteffekts können Strukturen schärfer und somit genauer abgebildet werden. Diese Prozedur ermöglicht insbesondere die Untersuchung der ca. 1 nm breiten Übergangsschichten des Schichtsystems. Deren Signal ist in konventionellen Aufnahmen normalerweise nicht von dem Drifteffekt unterscheidbar. Hierfür musste auch der Abbildungsprozess im TEM in die Berechnungen mit einbezogen werden. Zur Überprüfung der Ergebnisse wurden sie mit Messungen einer Tomographischen Atomsonde verglichen.
AU  - Heil, Tobias
DA  - 2010
KW  - Elektronenmikroskopie
KW  - EFTEM
KW  - Elementverteilungsaufnahmen
KW  - Driftkorrektur
KW  - Schichtsysteme
LA  - ger
PY  - 2010
TI  - Bestimmung der Auflösungsgrenze in Elementverteilungsaufnahmen von Schichtsystemen
UR  - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:hbz:6-87419495737
Y2  - 2024-11-21T23:06:28
ER  -