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High resolution Rutherford backscattering spectroscopy studies on Mo/Si multilayers
In: Thin Solid Films, Jg. 228 H. 1-2, S. 60-631993
Interlayer composition and interface stability in Mo/Si multilayers studied with high-resolution RBS
In: Applied Surface Science, Jg. 78 H. 2, S. 133-1401994