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Titelaufnahme
Titel
Interlayer composition and interface stability in Mo/Si multilayers studied with high-resolution RBS
Verfasser
Heidemann, B.
;
Tappe, T.
;
Schmiedeskamp, B.
;
Heinzmann, Ulrich
Enthalten in
Applied Surface Science, Jg. 78 H. 2, S. 133-140
Erschienen
1994
Sprache
Englisch
Dokumenttyp
Aufsatz in einer Zeitschrift
ISSN
0169-4332
URN
urn:nbn:de:0070-pub-17804624
DOI
10.1016/0169-4332(94)00114-6
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Interlayer composition and interface stability in Mo/Si multilayers studied with high-resolution RBS
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Klassifikation (DDC)
→
Naturwissenschaften und Mathematik
→
Physik
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Physik
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