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All-photoplastic, soft cantilever cassette probe for scanning force microscopy
Genolet, Grégoire
;
Despont, Michel
;
Vettiger, Peter
;
Anselmetti, Dario
;
Rooij, Nico F. de
In: Journal of vacuum science & technology, B, Jg. 18 H. 2, S. 617-620
