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Mo 0,5 Si 0,5/Si multilayer soft x-ray mirrors, high thermal stability, and normal incidence reflectivity
Stock, H. J. ; Kleineberg, U. ; Kloidt, A. ; Schmiedeskamp, B. ; Heinzmann, Ulrich ; Krumrey, M. ; Müller, P. ; Scholze, F.
In: Applied Physics Letters, Jg. 63 H. 16, S. 2207-2209