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Smoothing of interfaces in ultrathin Mo/Si multilayers by ion bombardment
Kloidt, A.
;
Stock, H. J.
;
Kleineberg, U.
;
Döhring, T.
;
Pröpper, M.
;
Schmiedeskamp, B.
;
Heinzmann, Ulrich
In: Thin Solid Films, Jg. 228 H. 1-2, S. 154-157
