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Sub-micron grating formation in Ta2O5-waveguides by femtosecond UV-laser ablation
Beinhorn, Frank
;
Ihlemann, Jürgen
;
Simon, Peter
;
Marowsky, Gerd
;
Maisenhölder, Bernd
;
Edlinger, Johannes
;
Neuschäfer, Dieter
;
Anselmetti, Dario
In: Applied surface science, Jg. 138-139, S. 107-110
