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Röhl, Holger: Experimentelle Untersuchung der Wechselwirkung von Flüssigkeiten und Gasen mit Oberflächen von Magnetspeicherplatten. 2007
Inhalt
Inhaltsverzeichnis
Zusammenfassung
Abstract
Einleitung
1 Motivation und Zielsetzung
2 Vom Glassubstrat zur Festplatte
2.1 Substratherstellung
2.2 Der Sputterprozess
2.3 Aufbau einer Magnetspeicherplatte
2.4 Der Schreib- / Lesevorgang
3 Adsorption
3.1 Allgemeine Aspekte
3.2 Adsorptionsisothermen
3.3 Isostere Adsorptionswärme
3.4 Adsorption von SO2 an Festkörperoberflächen
4 Die Quarzmikrowaage
4.1 Allgemeine Eigenschaften von Schwingquarzen
4.2 Die Gleichung von Sauerbrey
5 Die Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie
5.1 Grundlagen
5.2 Ionenquellen
5.3 Die Stoßkaskade
5.4 Ionisation
5.5 Reflektron und Analysator
6 Grundlagen der Multivariaten Analyse
6.1 Principal Component Analysis (PCA)
6.2 Partial Least Squares (PLS)
Experimenteller Teil
7 Adsorptionsmessungen und Ätzversuche
7.1 QCM
7.2 Versuche mit Schwefeldioxid
7.3 Recycling mit flüssigen Ätzmedien
8 ToF-SIMS-Messungen
Ergebnisse und Diskussion
9 QCM-Adsorptionsmessungen
9.1 Magnetron-gesputterte Kohlenstoffschichten
9.2 ARC-COC: Temperaturabhängigkeit der Adsorption
9.3 Vergleich magnetron-gesputterter COC und ARC-COC
9.4 Zusammenfassung der QCM-Messungen
10 Recycling von Festplattensubstraten
10.1 Adsorptionsmessungen mit Schwefeldioxid
10.2 Flüssige Ätzmedien
10.3 Patentanmeldungen
10.4 Zusammenfassung der Recycling-Versuche
11 Lubrikant-Analyse mit ToF-SIMS
11.1 Lubrikant-Spektren
11.2 Partial Least Squares (PLS): Quantifizierung
11.3 Principle Component Analysis (PCA): Klassifizierung
11.4 Zusammenfassung der ToF-SIMS-Messungen
12 Zusammenfassung und Ausblick
Anhang
A. Danksagung
B. Literaturverzeichnis
C. Lubrikant-Fragmente
D. Peak-Liste
E. Patentschrift