Bei der Einführung steuerlicher Anreize für Forschung und Entwicklung (FuE) ist die beihilfenrechtskonforme Ausgestaltung eine zentrale rechtliche Herausforderung. Die vorliegende Arbeit untersucht daher vor dem Hintergrund verschiedener Ansatzpunkte im Steuertatbestand das Zusammenspiel zwischen den europarechtlichen Anforderungen für Regelungen, die sowohl Steuerbeihilfe als auch FuE-Beihilfen sind. Unter Beachtung des beihilfenrechtlichen Primär- und Sekundärrechts sowie des einschlägigen Soft Law führt die Arbeit diese unterschiedlichen Vorgaben zusammen. Dabei werden vor allem die spezifischen Bestimmungen der Allgemeinen Gruppenfreistellungsverordnung (AGVO) und des FuE-Unionsrahmens untersucht und ausgewertet. Als Ergebnis zeigt die Arbeit vorhandene Umsetzungsspielräume und -grenzen für den Gesetzgeber auf und untersucht die Beihilfenkonformität verschiedener Gesetzesentwürfe für FuE-Steueranreize in Deutschland und einschlägiger Regelungen in anderen EU-Mitgliedstaaten.