Methods to investigate the properties of thin aluminium oxide barriers on the nanometer scale were analysed. Dielectric breakdown was investigated by means of STM/STS. The lateral distribution of the barrier thickness was also determined.
Titelaufnahme
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- TitelUntersuchungen von dünnen Aluminiumoxid-Schichten
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- Erschienen
- SpracheDeutsch
- DokumenttypDissertation
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Abstract
Zusammenfassung
In dieser Arbeit wurden Methoden zur Untersuchung von wichtigen Eigenschaften von Aluminiumoxid-Tunnelbarrieren auf der Nanometerskala analysiert. Insbesondere konnte mittels STM/STS der dielektrische Durchbruch lokal untersucht und die Verteilung der Barrierendicke lateral aufgelöst bestimmt werden.
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