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Titelaufnahme

Titel
Zusammenhang von strukturellen, chemischen und röntgenoptischen Eigenschaften mittels MOCVD und Elektronenstrahlverdampfung hergestellter Mo/Si und W/Si Multischichten
Verfasser
Aschentrup, Andreas
Gutachter
Heinzmann, Ulrich
Erschienen
2003
Sprache
Deutsch
Dokumenttyp
Dissertation
Schlagwörter
Molybdän , Silicium , Mehrschichtsystem , MOCVD-Verfahren , Elektronenstrahlverdampfen , , Multilayer , Mo , Si , MOCVD , TEM
URN
urn:nbn:de:hbz:361-4897

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Zusammenhang von strukturellen, chemischen und röntgenoptischen Eigenschaften mittels MOCVD und Elektronenstrahlverdampfung hergestellter Mo/Si und W/Si Multischichten [pdf 8.8 mb] RIS

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Klassifikation (DDC) → Naturwissenschaften und Mathematik → Physik → Physik

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